高面形精度的超光滑表面制造直接面向现代光学技术和精密电子领域的应用需求，是现代超精密加工技术的重要组成部分。尤其是近年来，随着高能激光、极紫外光学技术的发展，对光学元件光谱特性、损伤阈值以及散射损耗等不断提出越来越苛刻的要求，更加促进了高精度的超光滑表面加工技术的工艺研发进程。本课题组在高功率激光的应用背景下，专门开展了这方面的特色研究工作，借助已研发成熟的工艺手段，可实现如下技术指标：（1）基底材料：单晶硅、石英等；（2）光学元件口径：≤300mm；（3）加工面形精度：PV 优于 60nm；（4）表面粗糙度：RMS 优于0.2nm；（5）表面光洁度水平：10-5。