CMP(化学机械抛光)技术广泛应用于精密铸造、航空航天、半导体、电子通讯等各个领域,尤其在半导体芯片加工工艺中有着不可替代得作用,贯穿半导体加工的前道工艺和后道工艺,是目前芯片全局平坦化的唯一技术。CMP 工艺中的核心材料是抛光液和抛光垫,其中又以抛光液的占比最高达到 49%。抛光液主要由纳米颗粒、氧化剂、分散剂、除菌剂、pH 调节剂组成,核心组成是纳米颗粒。纳米氧化硅颗粒的使用占芯片抛光液总量的 80% 以上。
目前本项目组已经实现高纯度纳米氧化硅颗粒的中试制备,球形颗粒的制备尺寸可控(20~120nm),粒度分布集中(PDI:0.01~0.2),金属杂质含量≤500 ppb,一立方米放大连续生产50 批次以上。拥有自主知识产权,独立工艺路线开发,在对单晶硅,金属 W,TEOS 等外延片抛光结果与国际产品相当。