本技术通过引进具有多温区、多点进出气、带有旋转料盘特殊结构的大型炭/炭化学沉积炉和高温碳化炉,开发外循环快速冷却工艺,解决炭/炭坩埚生产过程中温度以及产品密度均匀性难以控制、能耗高的关键难题。该技术具有温度均匀性好,碳收率高、设备降温时间大幅缩减等优势。产品将突破炭/炭坩埚使用寿命短、生产成本高的瓶颈,在光伏产业、半导体器件等领域具有重要应用，预计实现年产值5亿元。